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真空爐石墨加熱棒是真空爐的核心部件,其操作技能直接影響設(shè)備性能、運(yùn)用壽數(shù)及工藝安穩(wěn)性。以下是要害操作要害及注意事項(xiàng):
一、操作前準(zhǔn)備
安全檢查
    電氣體系:供認(rèn)電極聯(lián)接無松動(dòng),絕緣層無缺(電阻>100MΩ),避免短路或漏電。
    真空密封:檢查法蘭、查詢窗等密封圈(材料為氟橡膠或金屬)是否老化,涂抹真空脂(如硅脂)確保密封性。
    冷卻體系:檢查水冷管路流量(≥5L/min)及水溫(<30℃),避免過熱損壞電極。
清潔與檢查
    外表清潔:用無塵布蘸無水乙醇擦拭加熱棒外表,去除油污或粉塵(禁用硬物刮擦)。
    裂紋檢測(cè):目視或用放大鏡檢查外表裂紋,關(guān)鍵查詢螺紋聯(lián)接處和曲折部位。
    電阻查驗(yàn):運(yùn)用萬用表丈量電阻值,比照出廠數(shù)據(jù)(差錯(cuò)>5%需排查觸摸不良或老化)。
二、設(shè)備與主張
設(shè)備規(guī)范
    對(duì)中調(diào)整:確保加熱棒與爐膛同軸(差錯(cuò)<2mm),避免部分過熱。
    緊固力度:運(yùn)用扭矩扳手均勻緊固螺栓(參考值:10~15N·m),避免過緊導(dǎo)致石墨碎裂。
    電極觸摸:涂抹導(dǎo)電膏(如銀基膏)下降觸摸電阻,避免電弧放電。
主張程序
    預(yù)抽真空:主張真空泵至壓力,減少殘留氧氣氧化危險(xiǎn)。
階梯升溫:
    低溫段(室溫~800℃):升溫速率≤5℃/min,避免熱沖擊。
    高溫段(>800℃):升溫速率≤3℃/min,監(jiān)測(cè)電阻改動(dòng)(不堅(jiān)決<3%)。
    氣氛保護(hù):通入高純氬氣(純度≥99.999%)堅(jiān)持微正壓(10~50Pa),克制石墨蒸騰。
三、工作監(jiān)控
要害參數(shù)控制
    溫度均勻性:經(jīng)過多點(diǎn)熱電偶監(jiān)測(cè)爐內(nèi)溫差(±10℃以內(nèi)),反常時(shí)調(diào)整加熱棒功率散布。
    真空度堅(jiān)持:繼續(xù)工作中真空度安穩(wěn),若壓力升高需排查走漏或泵缺陷。
    電流安穩(wěn)性:三相電流不平衡度<5%,單相電流不堅(jiān)決>10%時(shí)當(dāng)即停機(jī)檢查。
反常處理
    部分過熱:表現(xiàn)為某區(qū)域發(fā)紅反常,需下降功率并檢查是否觸摸不良或絕緣失效。
    電阻驟增:或許因氧化或裂紋導(dǎo)致,停機(jī)后丈量分段電阻定位缺陷點(diǎn)。
    真空走漏:關(guān)閉主閥,分段保壓查驗(yàn)(壓力上升率<0.5Pa/min為合格)。
四、停機(jī)與保護(hù)
降溫程序
    天然冷卻:堵截電源后堅(jiān)持真空或惰性氣體環(huán)境,降溫至800℃以下再通冷卻水加速冷卻。
    強(qiáng)制冷卻捆綁:阻撓在>1000℃時(shí)通入冷卻氣體,避免急冷開裂。
拆開與保養(yǎng)
    拆開次第:先斷開電源,待溫度<60℃后拆開,避免熱應(yīng)力危害。
    深度清潔:運(yùn)用壓縮空氣吹掃孔隙內(nèi)沉積物,固執(zhí)污漬用丙酮浸泡后超聲清洗。
    防潮存儲(chǔ):存放于干燥箱(濕度<30%),外表涂覆防氧化劑(如硼酸酒精溶液)。
壽數(shù)點(diǎn)評(píng)
    守時(shí)檢測(cè):每月丈量電阻值及直徑改動(dòng)(膨脹率>2%需替換)。
    累計(jì)工時(shí):記載加熱棒累計(jì)運(yùn)用時(shí)刻,高密度石墨壽數(shù)一般為2000~3000小時(shí)。
五、安全注意事項(xiàng)
個(gè)人防護(hù)
    操作時(shí)穿戴耐高溫手套(如芳綸材料)及護(hù)目鏡,避免燙壞和粉塵入眼。
    觸摸石墨后及時(shí)洗手,避免吸入粉塵(佩帶N95口罩)。
應(yīng)急方法
    斷電保護(hù):突發(fā)停電時(shí)當(dāng)即關(guān)閉主閥,堅(jiān)持爐內(nèi)真空避免氧化。
    走漏處理:發(fā)現(xiàn)真空度反常下降,主張備用渙散泵并排查漏點(diǎn)(氦質(zhì)譜檢漏儀定位)。
    火災(zāi)防范:爐旁備干砂滅火器,阻撓運(yùn)用水或CO2滅火器(加劇石墨氧化)。
六、常見問題速查表
現(xiàn)象 或許原因 解決方法
加熱棒電阻反常升高 外表氧化、內(nèi)部裂紋 清潔后涂覆SiC涂層,嚴(yán)峻時(shí)替換
爐溫不均勻 加熱棒功率分配不均 調(diào)整三相負(fù)載平衡或替換損壞加熱棒
電極打火 觸摸面污染或緊固缺少 從頭打磨觸摸面并均勻緊固
真空度繼續(xù)下降 密封圈老化或體系走漏 替換密封圈,氦檢漏修正
總結(jié)
    掌握真空爐石墨加熱棒的操作技能需重視細(xì)節(jié)控制與規(guī)范流程,經(jīng)過守時(shí)保護(hù)(如每月清潔、每季度電阻檢測(cè))可延長(zhǎng)運(yùn)用壽數(shù)30%~50%。主張操作人員每月參與專項(xiàng)操練,結(jié)合設(shè)備日志剖析缺陷趨勢(shì),完結(jié)防范性保護(hù)。

真空爐石墨加熱棒


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